德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 壓電陶瓷位移臺 P-541.X0L

應用領域：

掃描顯微鏡

超分辨率顯微鏡

生物技術

掩模/晶圓定位

樣本定位

干涉測量

計量

產品參數：

型號：P-541.Z0L

主動軸：Z

集成傳感器：–

-20至120 伏時Z向上的開環行程：150微米

θX、θY向上-20至120 伏時的開環偏擺角：–毫弧度

Z向上的閉環行程：–微米

θX、θY向上的閉環偏擺角：–毫弧度

Z向上的分辨率，開環：0.2納米

θX、θY向上的開環分辨率：–微弧度

Z向上的閉環分辨率：–納米

θX、θY向上的閉環分辨率：–微弧度

Z、θX、θY向上的線性誤差：–%

Z向上的重復精度：–納米

θX、θY向上的重復精度：–微弧度

θX、θY向上的串擾（Z向運動）：±15微弧度

產品參數：

型號：P-541.T0L

主動軸：Z,θX,θY

集成傳感器：–

-20至120 伏時Z向上的開環行程：150微米

θX、θY向上-20至120 伏時的開環偏擺角：±0.6毫弧度

Z向上的閉環行程：–微米

θX、θY向上的閉環偏擺角：–毫弧度

Z向上的分辨率，開環：0.2納米

θX、θY向上的開環分辨率：0.02微弧度

Z向上的閉環分辨率：–納米

θX、θY向上的閉環分辨率：–微弧度

Z、θX、θY向上的線性誤差：–%

Z向上的重復精度：–納米

θX、θY向上的重復精度：–微弧度

θX、θY向上的串擾（Z向運動）：±15微弧度

德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 壓電陶瓷位移臺 P-541.X0L